真空阀门的基本特点是具有较高的气密封（密封可靠）；对气流的阻力尽量小（即阀门的流导尽可能 大）；密封部件耐磨性好，能反复使用、寿命长；阀体材料及密封件放气量小；操作灵活，容易清洗安装，性能可靠、维修方便。此外，对于超高真空阀门 还要求能耐高温烘烤（450°C）;对节流阀要求能均匀调节气体流量。

常用真空阀门阀体的材料主要有金属和玻璃。手动真空阀门驱动手轮采用高强度塑料材料。玻璃真空活塞又称“考克”，一般用于玻璃真空系统、小型真空装置、真空计规管或校准系统上。优点是制作比较容易、使用方便，易于清洗观察，化学稳定和绝缘性 好，放气量较小等。不足之处是由于玻璃的脆性及活塞弯口处涂一层油脂，故限制了它的使用范围。工业生产所需要的真空装置，如真空镀膜设备、真空冶炼设备、真空热处理设备、空间环境模拟设备、火箭发动机模拟设备、卫星表面带电模拟设备、粒子加速器 及受控核聚变装置、重离子加速器等都采用金属阀门。

真空阀门通常根据阀门的工作特性、传动原理、 连接方式和用途等进行分类。

根据工作压力分：低真空阀门、高真空阀门、超高真空阀门。

根据用途分：截止阀、隔离阀、充（放）气阀、节流阀、换向阀、封闭送料阀等。

根据传动原理分：手动阀、手电两用阀、电磁阀、气动阀和液动式真空阀。

根据材料分：玻璃真空活塞（考克）、金属真空阀。

根据结构特点分：挡板阀、翻板阀、蝶阀、球阀、连杆阀、隔板阀、闸阀、双通阀、三通阀、四通直通阀和直通阀等。

22. 2. 2 类型

（1）隔膜式真空阀

隔膜式真空阀是利用阀杆将橡胶隔膜直接压在阀座上，用来截止或接通气流。它常装在被抽真空容器与各种低真空泵之间。典型的隔膜式真空阀结构图如图 22-1 所示。

其动作原理是旋转手柄使阀杆向下运动，将橡胶隔膜直接压在阀座上，截止气流。反方向旋转手轮，阀杆向上运动，带动橡胶隔膜离开阀座，接通气流。 阀门主体采用铝合金铸造。结构简单、质量轻、体积小，密封性能良好。采用丁腈橡胶的隔膜真空阀，用 于前级和预抽低真空管道上及温度一 25〜80°C的非腐蚀性气体。采用氟橡胶的隔膜真空阀，可用于高真空系统，使用温度范围为一30〜150°C。

（2）真空挡板阀

真空挡板阀的工作原理是阀板通过阀杆做上下运动而实现密封的。驱使阀杆运动的传动部件有手动、 手电两动、气动三种方式。手动传动部件，以螺纹结构为主，也可以采用平凸轮结构。图22-2和图22-3 分别为直角式、直通式真空挡板阀结构示意图。手动 两用的传动部件，由电动机、蜗轮、蜗杆组成，并装有行程开关。当接通电源后，电动机按某一方向（如开启方向）旋转，通过蜗轮、蜗杆带动阀杆向上运动使阀板上升，当阀上升到一定高度时，行程开关自动切断电源，阀杆运动立即停止，反之亦然。手动时，

松开手轮背帽，用手按一定方向转动手轮即可，图22-4为GDD型手、电两用真空挡板阀外形图。气动传动部件以压缩干燥空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动汽缸活塞上下运动，带动阀杆上下运动，使阀板开启关闭，从而达到接通或停止气流的 目的。

真空挡板阀有高真空挡板阀和超高真空挡板阀两种。高真空挡板阀用于高真空系统接通或截止气流。 适用压力范围：轴封为橡胶时为1.3X10_4〜105Pa; 轴封为波纹管结构时为1.3X10-5〜105Pa。工作介

截止气流，可安装在被抽真空容器（真空室）与真空泵之间；或用于在半连续真空作业的进出料容器上。 使用温度为一20〜80°C，不适用于对黑色金属有腐蚀性或含颗粒状物灰尘的气体。

b.超高真空插板阀主要用于超高真空系统中接通或截止气流。适用的介质为洁净的空气或非腐蚀性气体；适用温度在阀门开启时，阀体允许烘烤温度小于 150°C。

由于真空插板阀具有流导大，密封性能好，放气率低，体积小，结构紧凑、合理，操作方便，安装位置可任意选择等一系列优点，因此真空插板阀广泛用 于中、大型高真空、超高真空装置的真空系统中。

②形式和性能参数

a.高真空插板阀的形式与基本参数，已有行业标准（JB/T 4077—91）。该标准规范的高真空插板阀的形式和基本参数，适用于1.3X10-5〜1.0X105Pa

真空系统中用来幵启或隔断气流的插板阀。幵启阀门时，阀板两侧的压差应小于或等于2. 7kPa。

b.我国生产的超高真空插板阀有手动（CC型）、 气动（CCQ型）和电动（CCD型）三种。适用于介质为清洁空气及非腐蚀性气体的超高真空系统中切断 或接通气流。其中GC型系列高真空插板阀是以螺杆传动来推动钢球运动，撑开阀板关闭，又靠弹簧力收 拢阀板打开的高真空阀门；GCQ系列以压缩空气为动力推动钢球运动，实现阀门的开启和关闭。这两种阀的材料为不镑钢，漏气速率不超@ 1.3X 10-7 Pa • L/So GCD型系列阀门形式同CCl5型超高真空插板阀，只是连接法兰按高真空法兰由刀口金属密封 结构改为丁腈橡胶圈密封结构；阀体阀板材料可为不 锈钢或碳钢镀镍，阀板密封件材料为丁腈橡胶。适用范围为 1.3X104 〜105Pa。